韓國蔚山國家科學(xué)技術(shù)研究所(UNIST)的一支研究團隊打造出一種新型的傳感器陣列，能夠偵測從人體體重到手指輕觸等廣泛的壓力范圍。
目前，大多數(shù)的電晶體制造都采用硅通道以及基于硅氧化物的電介質(zhì)。然而，這些電晶體通常不是缺乏透明度就是不夠靈活，因而可能成為制造高整合的壓力傳感器陣列與透明壓力傳感器時的一大阻礙。
UNIST的研究人員開發(fā)的這種新型的陣列技術(shù)十分具有發(fā)展前景，因為它能根據(jù)偵測觸控動作產(chǎn)生電訊號，并同顯示偵測物件的位置以及壓力的大小，而且還較傳統(tǒng)的壓力傳感器更具有透明度以及消耗較低功耗，這和目前針對圖形所用的觸控傳感器是不同的。
UNIST材料科與工程研究所教授Jang-Ung Park帶領(lǐng)研究團隊共同進行這項研究，他們采用高度導(dǎo)電且?guī)в锌諝饨殡妼拥耐该魇约澳軌蛟诳烧郫B基板一側(cè)擷取空氣的彈性體。
該陣列能夠偵測導(dǎo)致氣隙介電質(zhì)變形的滑動、輕觸與手指的壓力，提供一種測量壓力大小與位置的方法。再者，相較于被動矩陣類型，這種新型的陣列所消耗的功率較少，反應(yīng)時間也更快。
Park表示：“利用空氣作為產(chǎn)生場效電晶體(FET)的介電層，能夠因為石墨烯通道與空氣間的介面干凈，從而顯著提高電晶體的性能。此外，這種空氣介電層的厚度是由所施加的壓力而決定的，因此，透過這種技術(shù)，能夠更有效地偵測壓力的變化。”
這種傳感器能夠同時測量小于10kPa的任何物體，例如輕敲至大于2MPa、人體的重量等，此外，它還能應(yīng)用于3D觸控面板或慢跑鞋。這項研究結(jié)果已經(jīng)發(fā)表在最新一期的《自然通訊》(Nature Communications)期刊中。
